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英特爾提交德國(guó)新建晶圓廠示意圖:安裝HighNAEUV光刻機(jī),2027Q4投入使用

分類: 最新資訊 短文詞典 編輯 : 大寶 發(fā)布 : 03-03

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去年6月,英特爾與德國(guó)聯(lián)邦政府達(dá)成了協(xié)議,雙方宣布簽署了一份修訂的投資意向書(shū),計(jì)劃投資超過(guò)300億歐元,在馬格德堡興建兩座新的晶圓廠。德國(guó)聯(lián)邦政府已同意提供100億歐元補(bǔ)貼,包含了來(lái)自《歐洲芯片法案》和來(lái)自政府的激勵(lì)措施及補(bǔ)貼。據(jù)HardwareLuxx和Heise.de報(bào)道,英特爾已經(jīng)提交了德國(guó)新建晶圓廠的示意圖,顯示初期為兩座晶圓廠Fab 29.1和Fab 29.2,將安裝世界上最先進(jìn)的半導(dǎo)體工具,英特爾還留有足夠的空間,最多能再興建另外六座晶圓廠。預(yù)計(jì)首批兩座晶圓廠會(huì)在2027年第四季度投入運(yùn)營(yíng),Intel 14A和Intel 10A兩個(gè)先進(jìn)的制程節(jié)點(diǎn)相信都在計(jì)劃之內(nèi)。Fab 29.1和Fab 29.2占地約8.1萬(wàn)平方米,總長(zhǎng)度為530米,寬度為153米,每層高度在5.7至6.5米之間,共三層,加上用于空調(diào)和供暖的屋頂結(jié)構(gòu),建筑物高度達(dá)到了36.7米。其中High-NA EUV光刻機(jī)會(huì)安裝在層高為6.5米的第二層,上下兩層用于材料物流,提供必要的資源,比如水、電和化學(xué)品。根據(jù)ASML提供的模型,第一代支持High-NA的生產(chǎn)節(jié)點(diǎn)將使用4-9次High-NA EUV曝光和總共20-30次EUV曝光。除了兩座晶圓廠,園區(qū)內(nèi)還有眾多支持建筑,包括冷卻器和沸騰器(BC1)、倉(cāng)庫(kù)(WH1)、超純水儲(chǔ)存(PB1)、特殊氣體儲(chǔ)存(BG1)、空氣分離廠 (AU1)、辦公樓(OB1)、服務(wù)大樓(SB1)、數(shù)據(jù)中心(DC1)、廢水預(yù)處理大樓(WT1)、堿性廢水預(yù)處理(NH4W)、以及停車場(chǎng)(PK1)。Fab 29將采用380千伏高壓供電并包含獨(dú)立的供電站,英特爾計(jì)劃使用電池儲(chǔ)能系統(tǒng)來(lái)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的柴油發(fā)電機(jī)作為備用電源,強(qiáng)調(diào)了其對(duì)可持續(xù)性的承諾。Fab 29所在的新修建道路將以著名物理學(xué)家和計(jì)算先驅(qū)Ada Lovelace Chaussee的名字命名,與英偉達(dá)現(xiàn)有的游戲GPU架構(gòu)同名。
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